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    標準裝置

    CO2スプレー洗浄機


    製品 紹介(種類別) 洗浄機,標準裝置

    製品紹介(業界別): ウエハー、光學、ハードディスク





    設備概要: CO2スプレー精密洗浄機

    製品: 4,6,8インチウエハー

    機能: 特殊ノズルからドライアイスパウダーを噴射して

    パーティクルや有機殘差を除去します。

    ESD対策、結露防止

    ウエハーをカセットから自動で取出し、収納します。



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