製品 紹介（種類別） 洗浄機,標準裝置

製品紹介（業界別）: ウエハー、光學、ハードディスク

設備概要:　CO2スプレー精密洗浄機

製品: 4,6,8インチウエハー

機能: 特殊ノズルからドライアイスパウダーを噴射して

パーティクルや有機殘差を除去します。

ESD対策、結露防止

ウエハーをカセットから自動で取出し、収納します。