設備類型（按品種）：清洗機、標準機

產品類型（按行業）：晶圓、光學、硬盤

設備概要：CO2高壓噴淋精密清洗

產品：4,6,8英寸不同的晶圓

功能：日和研究開發的特殊噴頭，結合產品的要求，X射線除靜電，防止結露等保證產品潔凈度同時，不對產品造成損傷，自動取放料，潔凈度達到0.5~5μ微顆粒數量控制在3-10顆之內