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    標準機


    CO2清洗機



    設備類型(按品種):清洗機、標準機

    產品類型(按行業):晶圓、光學、硬盤



    設備概要:CO2高壓噴淋精密清洗

    產品:4,6,8英寸不同的晶圓

    功能:日和研究開發的特殊噴頭,結合產品的要求,X射線除靜電,防止結露等保證產品潔凈度同時,不對產品造成損傷,自動取放料,潔凈度達到0.5~5μ微顆粒數量控制在3-10顆之內


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